KARAKTERISASI MICRORING RESONATOR (MRR) BERBASIS SILICON-ON-INSULATOR (SOI) DAN SENSITIVITAS SENSOR BERBASIS MRR UNTUK DETEKSI KADAR GLUKOSA

Harbi Setyo Nugroho, - (2019) KARAKTERISASI MICRORING RESONATOR (MRR) BERBASIS SILICON-ON-INSULATOR (SOI) DAN SENSITIVITAS SENSOR BERBASIS MRR UNTUK DETEKSI KADAR GLUKOSA. S1 thesis, Universitas Pendidikan indonesia.

	Text S_S FIS_1505411_Title.pdf Download (461kB)
	Text S_S FIS_1505411_Chapter 1.pdf Download (114kB)
	Text S_S FIS_1505411_Chapter 2.pdf Restricted to Staf Perpustakaan Download (857kB)
	Text S_S FIS_1505411_Chapter 3.pdf Download (673kB)
	Text S_S FIS_1505411_Chapter 4.pdf Restricted to Staf Perpustakaan Download (747kB)
	Text S_S FIS_1505411_Chapter 5.pdf Download (99kB)
	Text S_S FIS_1505411_Appendix.pdf Restricted to Staf Perpustakaan Download (2MB)

Abstract

Karakterisasi dan simulasi Microring Resonator (MRR) berbasis Silicon-on-Insulator (SOI) dengan SiO_2 sebagai lapisan penyangga telah dilakukan untuk mengukur nilai quality factor dan sensitivitas dari MRR sebagai sensor untuk keperluan deteksi kadar glukosa. MRR berbasis SOI yang digunakan dalam penelitian ini telah difabrikasi sebelumnya menggunakan sistem Electron Beam Litography (EBL) dan dikarakterisasi morfologinya menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM) sehingga diketahui parameter geometrisnya seperti radius cincin, gap, dan lebar pandu gelombang dengan ukuran masing-masing ~ 4,35 μm, ~ 4,95 x 10^(-2) μm, dan ~ 5,02 x 10^(-1) μm. Penelitian ini bertujuan untuk melakukan karakterisasi nilai quality factor menggunakan Optical Spectrum Analyzer (OSA) dan menentukan nilai sensitivitas sensor berbasis MRR dalam mendeteksi kadar glukosa dengan simulasi menggunakan metode Finite Difference Time Domain (FDTD). Hasil karakterisasi nilai quality factor menggunakan OSA menunjukan nilai rata-rata quality factor sebesar 2,92 x 10^3, sedangkan nilai quality factor yang diperoleh melalui simulasi 3D FDTD adalah 3,39 x 10^3. Berdasarkan hasil tersebut dapat dilihat bahwa simulasi dengan menggunakan metode 3D FDTD dapat digunakan untuk melakukan aproksimasi terhadap hasil eksperimental. Oleh karena itu, nilai sensitivitas sensor berbasis MRR juga dapat diaproksimasi dengan menggunakan metode yang sama, yaitu simulasi dengan metode 3D FDTD. Adapun nilai sensitivitas sensor berbasis MRR untuk deteksi kadar glukosa adalah 69,44 nm/RIU.

Item Type:	Thesis (S1)
Additional Information:	No. Panggil : S FIS HAR k-2019 ; Pembimbing : I. Lilik Hasanati, II. Budi Mulyanti ; NIM : 1505411
Uncontrolled Keywords:	Microring resonator, quality factor, sensitivitas, Finite Difference Time Domain (FDTD), deteksi glukosa
Subjects:	L Education > L Education (General) Q Science > Q Science (General) Q Science > QC Physics
Divisions:	Fakultas Pendidikan Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Jurusan Pendidikan Fisika > Program Studi Fisika (non kependidikan)
Depositing User:	Harbi Setyo Nugroho
Date Deposited:	19 Jun 2019 04:19
Last Modified:	19 Jun 2019 04:19
URI:	http://repository.upi.edu/id/eprint/35556

Actions (login required)

View Item