ANALISIS KARAKTERISTIK LISTRIK FILM TIPIS GaN YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE SOL-GEL SPIN COATING DENGAN VARIASI MOLARITAS Ga2O3, TEKANAN N2 DAN LAJU PUTARAN SPIN COATER

Reni Maharani, - (2011) ANALISIS KARAKTERISTIK LISTRIK FILM TIPIS GaN YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE SOL-GEL SPIN COATING DENGAN VARIASI MOLARITAS Ga2O3, TEKANAN N2 DAN LAJU PUTARAN SPIN COATER. S1 thesis, Universitas Pendidikan Indonesia.

Abstract

Telah dibuat film tipis GaN yang ditumbuhkan di atas substrat silikon (111) menggunakan metode sol-gel dengan teknik spin-coating dengan massa Ga2O3 2 gram dan 2.3 gram, tekanan N2 yang dialirkan sebesar 0.5 kgf/cm2 dan 1.5 kgf/cm2, temperatur deposisi 850oC, serta laju putaran spin-coater sebesar 1108 rpm, 1500 rpm, 2000 rpm, dan 2500 rpm. Kontak yang digunakan adalah Alumunium. Sambungan Al-GaN ini dikarakterisasi karakteristik I-V nya dengan Elkahfi 100 I-V meter. Hasil dari penelitian ini menunjukkan bahwa molaritas Ga2O3, tekanan N2 dan laju putaran spin coater dapat mempengaruhi kurva karakteristik I-V yang dimiliki oleh GaN. Hasil karakteristik I-V menunjukkan bahwa persambungan Al-GaN yang dihasilkan bersifat Schottky. Dari penelitian ini, GaN dengan molaritas 2.454 M memiliki karakteristik I-V lebih baik dibandingkan GaN dengan molaritas 2.134 M pada tekanan N2 dan laju putaran spin coater dibuat tetap, GaN yang diberi tekanan N2 1.5 kgf/cm2 memiliki karakteristik I-V lebih baik dibandingkan GaN yang diberi tekanan N2 0.5 kgf/cm2 pada molaritas dan laju putaran spin coater dibuat tetap, dan GaN dengan laju putaran spin coater 2500 rpm memiliki karakteristik I-V lebih baik dibandingkan GaN dengan laju putaran spin coater 1500 rpm dan 2000 rpm pada tekanan N2 dan molaritas Ga2O3 dibuat tetap.

	Text s_fis_0608746_table_of_content.pdf Download (249kB)
	Text s_fis_0608746_chapter1.pdf Download (271kB)
	Text s_fis_0608746_chapter2.pdf Restricted to Staf Perpustakaan Download (1MB)
	Text s_fis_0608746_chapter3.pdf Download (1MB)
	Text s_fis_0608746_chapter5.pdf Download (246kB)
	Text s_fis_0608746_bibliography.pdf Download (251kB)

Item Type:	Thesis (S1)
Additional Information:	ID SINTA Dosen Pembimbing DADI RUSDIANA: 5974813 DR.PARLINDUNGAN SINAGA M.SI: 5989835
Uncontrolled Keywords:	GaN, Molaritas Ga2O3, Tekanan N2, Laju Putaran Spin Coater, Karakteristik I-V, Karakteristik Listrik.
Subjects:	L Education > L Education (General) Q Science > QC Physics
Divisions:	Fakultas Pendidikan Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Program Studi Fisika - S1
Depositing User:	Hikmal Fajar Fardyan
Date Deposited:	16 Sep 2023 15:45
Last Modified:	16 Sep 2023 15:45
URI:	http://repository.upi.edu/id/eprint/105545

Actions (login required)

View Item