PENGARUH TEMPERATUR ANNEALING TERHADAP STRUKTUR MIKRO FILM TIPIS NANOPARTIKEL Au DENGAN METODE EVAPORASI

Taufik Hidayat, - (2011) PENGARUH TEMPERATUR ANNEALING TERHADAP STRUKTUR MIKRO FILM TIPIS NANOPARTIKEL Au DENGAN METODE EVAPORASI. S1 thesis, Universitas Pendidikan Indonesia.

Abstract

Telah ditumbuhkan film tipis Au diatas substrat silikon wafer (100) dengan metode evaporasi dan diikuti dengan proses annealing untuk membentuk butiran berukuran nano dengan temperatur annealing masing-masing 320oC, 360oC, dan 400oC selama 85 menit pada lingkungan gas nitrogen. Morfologi permukaan diamati melalui pencitraan SEM, dan komposisi penyusun film tipis dapat diketahui dengan melakukan karakterisasi EDX. Hasil karakterisasi SEM memperlihatkan adanya pengaruh temperatur annealing terhadap struktur mikro film tipis. Pada film tipis dengan temperatur 320oC memperlihatkan tidak terbentuknya butiran sedangkan film tipis dengan temperatur 360oC dan 400oC telah berhasil membentuk butiran dimana film tipis dengan temperatur 400oC mempunyai diameter butir yang lebih besar, jarak antar butir lebih panjang, dan kerapatan lebih kecil dibandingkan film tipis dengan temperatur 360oC. Hasil karakterisasi EDX menunjukan adanya oksidasi pada film tipis yang diberikan temperatur 400oC. Dengan mengubah parameter temperatur annealing diharapkan dapat menghasilkan film tipis yang lebih baik.

	Text s_fis_056213_table_of_content.pdf Download (248kB)
	Text s_fis_056213_chapter1.pdf Download (464kB)
	Text s_fis_056213_chapter2.pdf Restricted to Staf Perpustakaan Download (353kB)
	Text s_fis_056213_chapter3.pdf Download (355kB)
	Text s_fis_056213_chapter5.pdf Download (246kB)
	Text s_fis_056213_bibliography.pdf Download (252kB)

Item Type:	Thesis (S1)
Additional Information:	ID SINTA Dosen Pembimbing ANDHY SETIAWAN: 6040311 DR.PARLINDUNGAN SINAGA M.SI: 5989835
Uncontrolled Keywords:	Butiran berukuran nano; Temperatur annealing; Evaporasi
Subjects:	L Education > L Education (General) Q Science > QC Physics
Divisions:	Fakultas Pendidikan Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Program Studi Fisika - S1 > Program Studi Pendidikan Fisika
Depositing User:	Hikmal Fajar Fardyan
Date Deposited:	11 Sep 2023 10:37
Last Modified:	11 Sep 2023 10:37
URI:	http://repository.upi.edu/id/eprint/104596

Actions (login required)

View Item