eprintid: 104596
rev_number: 22
eprint_status: archive
userid: 196172
dir: disk0/00/10/45/96
datestamp: 2023-09-11 10:37:28
lastmod: 2023-09-11 10:37:28
status_changed: 2023-09-11 10:37:28
type: thesis
metadata_visibility: show
creators_name: Taufik Hidayat, -
creators_nim: NIM056213
creators_id: -
contributors_type: http://www.loc.gov/loc.terms/relators/THS
contributors_type: http://www.loc.gov/loc.terms/relators/THS
contributors_name: Andhy Setiawan, -
contributors_name: Parlindungan Sinaga, -
contributors_nidn: NIDN0013107301
contributors_nidn: NIDN0026046206
contributors_id: -
contributors_id: -
title: PENGARUH TEMPERATUR ANNEALING TERHADAP STRUKTUR MIKRO FILM TIPIS NANOPARTIKEL Au DENGAN METODE EVAPORASI
ispublished: pub
subjects: L1
subjects: QC
divisions: PFIS
full_text_status: restricted
keywords: Butiran berukuran nano; Temperatur annealing; Evaporasi
note: ID SINTA Dosen Pembimbing
ANDHY SETIAWAN: 6040311
DR.PARLINDUNGAN SINAGA M.SI: 5989835
abstract: Telah ditumbuhkan film tipis Au diatas substrat silikon wafer (100) dengan metode evaporasi dan diikuti dengan proses annealing untuk membentuk butiran berukuran nano dengan temperatur annealing masing-masing 320oC, 360oC, dan 400oC selama 85 menit pada lingkungan gas nitrogen. Morfologi permukaan  diamati melalui pencitraan SEM, dan komposisi penyusun film tipis dapat diketahui dengan melakukan karakterisasi EDX. Hasil karakterisasi SEM memperlihatkan adanya pengaruh temperatur annealing terhadap struktur mikro film tipis. Pada film tipis dengan temperatur 320oC memperlihatkan tidak terbentuknya butiran sedangkan film tipis dengan temperatur 360oC dan 400oC telah berhasil membentuk butiran dimana film tipis dengan temperatur 400oC mempunyai diameter butir yang lebih besar, jarak antar butir lebih panjang, dan kerapatan lebih kecil dibandingkan film tipis dengan temperatur 360oC. Hasil karakterisasi EDX menunjukan adanya oksidasi pada film tipis yang diberikan  temperatur 400oC. Dengan mengubah parameter temperatur annealing diharapkan dapat menghasilkan film tipis yang lebih baik.
date: 2011-02-25
date_type: published
institution: Universitas Pendidikan Indonesia
department: KODEPRODI84203#Pendidikan_Fisika_S1
thesis_type: other
thesis_name: other
official_url: http://repository.upi.edu
related_url_url: http://perpustakaan.upi.edu
related_url_type: org
citation:   Taufik Hidayat, -  (2011) PENGARUH TEMPERATUR ANNEALING TERHADAP STRUKTUR MIKRO FILM TIPIS NANOPARTIKEL Au DENGAN METODE EVAPORASI.  S1 thesis, Universitas Pendidikan Indonesia.   
document_url: http://repository.upi.edu/104596/2/s_fis_056213_table_of_content.pdf
document_url: http://repository.upi.edu/104596/2/s_fis_056213_chapter1.pdf
document_url: http://repository.upi.edu/104596/1/s_fis_056213_chapter2.pdf
document_url: http://repository.upi.edu/104596/2/s_fis_056213_chapter3.pdf
document_url: http://repository.upi.edu/104596/4/s_fis_056213_chapter5.pdf
document_url: http://repository.upi.edu/104596/3/s_fis_056213_bibliography.pdf